バルブ・ポンプ・マニフォールドの専門メーカー 高砂電気工業株式会社　バルブ用語辞典　用語集

ダイアフラムバルブは、その開閉動作に伴い、流体を吸い込み吐き出すというポンプ作用を持っています。機種によっては一度の開閉で数マイクロリットルレベルの流体が移動し、微量分注の精度を落としたり、分注ノズル先端に水滴を発生させたりします。
 小社のミニチュアバルブは電磁弁の小形化によってこのポンピングボリュームを最小にしました。特にＥXＡＫシリーズでは、ポンピング抑制する特殊な内部構造を採用し、ポンピングボリュームは当社従来機種の1/100以下になっています。