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ダイアフラムバルブ(ダイアフラム弁)の構造

電磁弁は、流路の開閉を行うバルブ部分と、それを動かす駆動部分とに分けることができます。ダイアフラムバルブ内部には、このふたつの部分を隔絶するための膜(ダイアフラム)があり、フッ素樹脂等でできたバルブ部分を流れる流体が、主として金属でできた駆動部分に流れ込むことを防いでいます。これにより、駆動部分が流体に腐食されることを防止すると同時に、駆動部分から発生する金属粉等が流体に混入することも防ぎます。こうした構造は、不純物を嫌う分析装置のサンプリング部分や医用機器、また金属を腐食させるような酸、化学薬品などのハンドリングに最適です。このような構造の弁を耐食弁と呼ぶこともあります。
<2方弁の内部構造>
2方N.C.(通常時閉)の場合、電圧をコイルにかけることでプランジャーが押し上げられ、それに伴いダイアフラムが上に引っ張られます。それにより流路が開き、流体が流れることができます。
<3方弁の内部構造>
3方弁の場合は、中央に位置する(下記図では2つの矢印の真ん中)COMからNOのポートへと流体が流れています。コイルに電圧をかけると、プランジャーが押し上げられ、N.O.側のダイアフラムが上に引っ張られ流路が閉じ、一方でN.C.側のダイアフラムも押し上げられることで流路が開きます。それによって、N.O.ポートへの流体の流れがN.C.ポートへ切り替えられます。
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