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ダイアフラムバルブの構造
電磁弁は、流路の開閉を行うバルブ部分と、それを動かす駆動部分とに分けることができます。ダイアフラムバルブ内部には、このふたつの部分を隔絶するための膜（ダイアフラム）があり、フッ素樹脂等でできたバルブ部分を流れる流体が、主として金属でできた駆動部分に流れ込むことを防いでいます。これにより、駆動部分が流体に腐食されることを防止すると同時に、駆動部分から発生する金属粉等が流体に混入することも防ぎます。こうした構造は、不純物を嫌う分析装置のサンプリング部分や医用機器、また金属を腐食させるような酸、化学薬品などのハンドリングに最適です。このような構造の弁を耐食弁と呼ぶこともあります。
＜2方弁の内部構造＞
＜3方弁の内部構造＞
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