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フィルムチップ
フィルムチップの特長
微細加工を施した樹脂製フィルムを接合した、極めて薄い、流路内蔵チップです。柔軟性にも富み、湾曲させることも可能。小型バルブなどの流体制御機器を搭載することにより、μTASのアプリケーションとしての活用も見込めます。材質は耐食性に優れたポリイミドやCOC（環状オレフィン樹脂）、ポリエチレンナフタレートなどで製作ができます。
フィルム型樹脂チップへの小型バルブ搭載例
 ※フィルムチップは株式会社SOHKiとの共同開発製品です。 |
仕様製作可能な最大寸法
材質
最小流路幅
フィルム素材の厚み（1層）
最小接合枚数
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